第59章 深夜攻坚(1/2)

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傍晚六点,攻关方案敲定。

牺牲层涂层、点火相位修正、防护挡板时序重构——三路并进,全部改到位。

"所有人,吃饭,休息半小时。"苏宇站在控制室门口,"八点整,开始改造。今晚,我们就在这台机器上,把问题解决。"

"苏总,"周明忍不住问,"今天夜里,就重新点火?"

"为什么不?"苏宇看着他,"问题已经找到了,方案已经定了。难道还要等一个黄道吉日?"

"机器不会挑日子——它只会等一个敢把它点亮的团队。"

周明愣了一下,随即,眼底燃起一簇火:"好!那就今晚!"

八点整,无尘实验室里,改造全面展开。

张工带着两个人,在手套箱里更换镀好牺牲层的靶材。那层肉眼几乎看不见的涂层,在灯光下泛着极淡的银光——这是所有人今夜的第一道保险。

"靶材更换完毕。"

"防护挡板时序,正在重构。"王磊的键盘敲得噼里啪啦,"新时序写入完毕,等待验证。"

"光学镜组,对焦参数已校准。"陈博士的声音沉稳,"随时可以配合点火。"

陈院士在视频那头远程盯着,时不时提醒两句:"注意,镀层表面不能有一粒尘埃。检测仪过了没有?"

"过了!颗粒度检测,零缺陷!"

晚上十一点,所有改造完成。

"第一次联合测试。"苏宇站在控制台前,目光沉稳,"周明,点火。"

"点火!"

等离子体约束系统通电,磁场瞬间形成。激光轰击靶材的瞬间——那层银色的涂层,率先气化,在光路前方形成一道肉眼不可见的屏障。

"碎屑拦截……成功!"张工的声音都在抖,"没有碎屑进入光路!"

"功率呢?!"周明急问。

"功率——"王磊盯着屏幕,呼吸都屏住了,"正常!比昨天提升了三成!"

极紫外光路,在腔体内骤然亮起。

控制室里,爆发出一阵狂喜的欢呼。

"亮了!这次真的亮了!"

"成功了!碎屑污染解决了!功率也上来了!"

然而,欢呼声还没落下,大屏幕上的光路,忽然又开始闪烁。

"警告:功率输出不稳定!"

"警告:光源强度波动超出阈值!"

"警告——"

光路,在所有人眼前,又一次,熄灭了。

实验室里,欢呼声戛然而止。

周明死死攥着拳头,指甲掐进肉里:"还是不行……功率是不缺了,可稳定性……"

陈博士盯着数据,眉头紧锁:"牺牲层和相位调整都奏效了,但新的问题浮出来了——等离子体的激发频率,和镜组的透射窗口,在长时程上存在偏差。光路不是点不亮,是亮不稳。"

"要解决稳定性,"他顿了顿,"需要从等离子体的动态控制上入手。这活儿,精细到微秒级——"

"王磊,"苏宇忽然开口,"相位修正的那组参数,能不能做成动态自适应的?"

"动态自适应?"

"光源不是死的。"苏宇走到屏幕前,"等离子体的状态,每一微秒都在变。既然固定参数稳不住,那就让软件实时监测、实时补偿——用动态控制,去匹配动态的光路。"

王磊的眼睛,猛地亮了起来:"这个思路……能做!但需要大量的实时数据,可能要反复试几百次……"

"那就试。"苏宇的声音平静,"几百次不行,就几千次。反正——今夜,我们不走了。"

实验室里,所有人都没有动。

没人说要加班。没人说要坚持。但每个人,都默默回到了自己的位置。

凌晨十二点,王磊的软件组,开始重写动态控制模块。

凌晨一点,第一版动态补偿算法,上线测试。

"稳定性提升,但还不够。光路持续了 4 秒,然后波动。"

"继续改。"

凌晨一点半,第二版。

"7 秒。"

"继续。"

凌晨两点,第三版。

"12 秒。开始接近了。"

"还不够。"

凌晨两点半,陈博士忽然开口:"苏总,我有个建议——把镜组的透射窗口,也纳入动态补偿的范围。光路波动的根源,一半在等离子体,一半在镜组受热变形。"

"两个变量一起补偿,稳定性,才能彻底锁住。"

苏宇毫不犹豫:"改!"

凌晨两点五十分,第四版动态补偿算法,完成最后一次编译。

周明站在控制台前,深吸一口气,手指悬在点火键上方。

"所有人——最后一次测试。"

"点火!"

等离子体约束系统启动,激光轰击靶材,牺牲层气化,光路在腔体内,骤然亮起。

一秒,两秒,三秒……五秒,十秒,二十秒……

光路,稳稳地亮着。

没有闪烁,没有波动,没有熄灭。

控制室里,死一般寂静——所有人都屏住呼吸,死死盯着那道银白色的极紫外光。

"三十秒了……"王磊的声音,带着颤抖。

"一分钟了!"

"光路稳定!功率稳定!所有参数,全部达标!"

凌晨三点整。

那道银白色的极紫外光,像一柄锋利的剑,刺破了实验室的黑暗。

周明猛地摘下安全帽,泪水毫无预兆地涌了出来:"成功了……真的成功了……"

"国产 EUV 光源……点亮了!"

实验室里,压抑了整整两天的情绪,在这一刻彻底决堤。

有人仰天大笑,有人抱头痛哭,有人瘫坐在地上,捂着脸,肩膀剧烈抖动。陈博士站在观测窗前,看着那道耀眼的光,老泪纵横:"我研究了一辈子光……没想到,第一次看到这么亮的光,是在龙国……"

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